氮化镓（GaN）作为第三代半导体核心材料，其晶体质量、表面缺陷及成分均匀性直接影响光电器件（如LED、激光器）与功率器件的性能。

ZEM系列钨灯丝扫描电镜凭借高性价比、稳定成像与智能分析功能，为氮化镓材料的研发与质量控制提供关键支持：

表面形貌与缺陷表征：在5-20 kV低电压模式下，无需镀膜即可清晰观测GaN外延层表面台阶流、凹坑、裂纹等微观缺陷（分辨率达3 nm），精准评估MOCVD生长工艺的均匀性

晶体质量与界面分析：通过背散射电子（BSE）成像，区分GaN与衬底（如蓝宝石、SiC）的界面结合状态，识别位错、层错等晶体缺陷，为优化异质外延技术提供直观依据。

成分分析与污染控制：搭配能谱仪（EDS），快速定位表面氧、碳杂质污染（常见于外延生长环境），定量分析元素分布，确保材料纯度满足高电子迁移率晶体管（HEMT）需求。

ZEM系列钨灯丝扫描电镜产品特色

ZEPTOOLS的ZEM系列台式扫描电镜-原位拉伸一体机，采用自主研发的钨灯丝电子枪，加速电压最高20KV可调，搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、1000N原位拉伸样品台，实现扫描电镜内的原位拉伸/压缩/弯曲实验。

真空分隔技术：采用独特真空设计，电子枪和样品仓真空分离，换样时间小于1min。

超大样品仓：提供了更大的样品存储空间，方便用户操作。

超高分辨率：极限放大倍数达到36万倍，分辨率4nm@20kV。

选配减速模式：允许弱导电样品在不喷金的情况下进行观察。

仓内摄像头：样品仓内置高清摄像头，原位实验时可实时监测样品原位变化。

深耕材料检测领域23年的佛山翁开尔（成立于2002年），依托覆盖全国的技术服务网络，为台式扫描电镜用户提供从设备选型到应用培训的全周期支持。其专业团队通过定制化解决方案与快速响应机制，助力企业实现科研与生产效能的双重提升。