钨灯丝扫描电镜在氮化镓微观检测的应用

氮化镓(GaN)作为第三代半导体核心材料,其晶体质量、表面缺陷及成分均匀性直接影响光电器件(如LED、激光器)与功率器件的性能。 ZEM系列钨灯丝扫描电镜凭借高性价比、稳定成像与智能...